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真空乾燥機 VACUUM DRY OVEN

Application

真空乾燥機
  • リチウムイオンポリマー電池など各種2次電池の水分及び用材乾燥
  • 半導体、電子部品などのエージング
  • 高温で真空状態を維持して乾燥及びエージング熱処理を目的にするシステム

Features

温度

温度

Max.180℃
温度 真空度
大気圧 〜 3.75 × 10-2 Torr
温度 真空乾燥器専用コントローラー
真空制御用の調節計及び記録計を新開発
温度 二重チャンバー構造
(特許番号:第10-1022740)

内槽及びそれぞれにヒーター及びファンを個別設置制御することで早い温度上昇と決まった温度分布度を維持
温度 二重パッキング採用
真空度向上のために二重パッキンを採用
温度 溶剤回収システム
乾燥のときに発生する水分及びNMPガスなど化学物質(化学物質、微粒子)をCOLD TRAP及びFILTERを回収することで真空ポンプの寿命を延長
温度 冷却システム Cooling Fan強制循環方式を利用して120℃→60℃まで3時間以内可能
温度 プログラムパターン制御 温度、真空及びPergr, Ventを必要なパターンでプログラム制御可能
(40パターン/1200ステップ)
温度 点検容易 Dry tyupe真空ポンプ(Oilless)及びコイルヒーターを採用することで維持補修が容易
温度 AUTO/MAN動作 真空スタート、真空解除、排気のAUTO/MAN動作が可能で真空破壊または大気圧開放の時N2、AIR選択可能
温度 12チャンネルレコーディング 温度1CH、真空度1CH、分布図10CHレコーディング
温度 簡易なインターフェイス タッチパネル式コントローラーでコントロール操作容易

パターン制御

パターン制御

新開発の専用制御機器

■ 温度及び真空表示型専用コントローラーにより、プログラム作成が容易となり、自由なパターン運転が可能です。

   又、専用デジタル記録計を採用することでコントローラーとの連動動作及び全領域レコーディングが可能です。

新開発の専用制御機器

二重パッキング構造

■ 内槽タンクドアに二重パッキンを採用し、完璧な真空度の為に密着度を高めています。

二重パッキング構造

二重チャンバー構造システム

■ 温度分布度向上及び溶剤回収システム採用で装備の寿命を延ばします。

二重チャンバー構造システム

製品仕様

仕分け 詳細項目 8MAGAZINE 16MAGAZINE
オーブン容量 700L 1960L
ヒーター容量 18KW 33KW
温度 制御範囲 RY-180℃
設定幅 0.1℃
分布度 ±2.0℃
上昇安定時間 RT-120℃時60分
下降時間 3時間
真空 制御範囲 10〜3.75×10-2Torr
設定幅 0.001Torr
安定時間 30分
構造 方式 二重チャンバー制御(特許10-1022740)
内槽 空気強制循環方式を利用した対流熱使用
外槽 空気情勢循環方式を利用した放射熱使用
冷却 Cooling Fan強制循環方式
運転 調節計 タッチパネル式2チャンネル(温度、真空専用)
記録計 タッチパネル式12チャンネル(温度、真空専用)
モード 自動/手動(温度、真空、Purge、Vent)
保安装置 水分及び溶剤 フィルター、コールドトラップ
安全装置 温度過熱防止(電子式、機械式)、真空度上昇検出
送風機&冷凍機過負荷防止、真空ポンプ&ブースター過負荷防止、その他遮断機
お知らせ ブザー、警告灯、履歴保存
維持補修 真空ポンプ DryType(脱着容易)
ヒーター コイルヒーター(脱着容易)
保証 3年、初期流動管理システム
装備寸法 内槽 750(W)×880(D)×1060(H) 1600(W)×1020(D)×1200(H)
外槽 1330(W)×1840(D)×1830(H) 2230(W)×2070(D)×2100(H)
電源 3相200V/220VAC/50/60Hz/21KVA 3相200V/220VAC/50/60Hz/21KVA